基準点（端点）から、一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値（基準点から実際に移動した位置）と指令値（指令した実際に移動すべき位置）との差をテーブルの移動範囲で測定し、その差分の最大差を累積リード誤差（位置決め精度）と規定します。

		同じ方向からの任意の1点（基準とする測定点）に位置決めし、その位置を測定します。この測定点に対して7回の測定を行い、その最大差を求めます。この操作を中央・両端の3点で行い、求めた値の最大値に1/2を乗じ±を付けた値を、繰り返し位置決め精度と規定します。

		任意の位置（基準とする測定位置）に対して、正の向き（モータ回転CW方向）から位置決めし、その位置を測定する。 さらに正の向きに移動させた後、負の向き（モータ回転CCW方向）に同量の指令を与え移動させて位置決めし、その位置を測定する。 さらに負の向きに移動させた後、正の向きに同量の指令を与え、移動させて位置決めし、その位置を測定する。この位置決め測定を、正の向き・負の向きそれぞれ7回行い、停止位置の平均値の差を求める。中央・両端の3点で測定し、求めた最大値をロストモーションと規定します。

真直度（垂直成分） ［JIS B 6191-1999 準拠］		真直度（水平成分） ［JIS B 6191-1999 準拠］

基準となる面（直定規など）をテーブル上面に適切に定置し、テーブルの移動範囲内で変位計をなぞらせ、測定値の始点・終点を結んだ直線からの変位の最大差を真直度とします。
真直度は垂直成分と水平成分があります。それぞれの成分の最大値をステージの真直度と規定します。

テーブル上面に取り付けた変位計で、石スコヤの鉛直基準面をテーブルの移動範囲内で一定方向へなぞらせ、変位の最大値を垂直度と規定します。 注）ブラケット型のZステージについては、真直度で規定しています。詳しくは、真直度の項目を御参照下さい。

テーブルをORG位置または移動範囲の中央を基準位置とし、基準位置に移動する際の送り方向と同一な方向に規定の負荷を加えたあと、負荷をはずします。
基準位置と負荷をはずしたあとの位置の差をバックラッシュと規定します。

任意の位置を基準点と定め、基準位置に移動する際の送り方向と同一の接線方向に規定の負荷を加えたあと、負荷をはずします。基準位置と負荷をはずしたあとの位置の差をバックラッシュと規定します。

		テーブルをORG位置または移動範囲の中央に止め、1kg・cmのモーメント荷重（軸はずし荷重）をかけた際の、テーブル上面の変位した角度をモーメント荷重と規定します。

テーブル上方の実際の回転軸に基準点を設置し、テーブル全移動範囲を動作させたとき、基準点の振れをCCDカメラで追い、その振れ量を回転中心変位量と規定します。

回転中心変位量測定時に設けた基準点から、テーブル上面の距離をワークディスタンスと規定します。

ステージを水平に設置したときに、テーブル中心にかけられる限界荷重と規定します。
（テーブルが動作できる限界の荷重です。）

注）設置状態によって耐荷重は変化します、お客様の使用条件にもよりますので、詳しくは弊社営業部までお問い合せください。

自動回転ステージ（θステージ）の累積誤差、ロストモーション、角度再現性及びピッチ誤差の精度検査は、エンコーダ（左図）を用いて検査を実施しています。

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値（基準点から実際に移動した位置）と指令値（指令した実際に移動すべき位置）との差を360°で測定し、その最大差を累積誤差と規定します。

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転測定したあと、反転させ同様に基準点まで測定します。 それぞれの位置決め地点での往路と復路の位置の最大差をロストモーションと規定します。

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い1回転目を測定したあと、反転させ基準点まで戻します。 その後、更に反転させ1回転目と同様に2回転目の測定を行います。 それぞれの位置決め地点での1回転目と2回転目の最大差を角度再現性と規定します。

任意の位置を基準点と定め、基準点から一方向に一定間隔で順次位置決めを行い、それぞれの位置決め地点での測定値（基準点から実際に移動した位置）と指令値（指令した実際に移動すべき位置）との差をウォームホイールの1歯（ウォーム軸1回転）分の範囲で測定し、その最大差をピッチ誤差と規定します。

テーブルを1回転させ、上面の外周付近で上下方向の変位を測定します。 測定値の最大差を面振れと規定します。

テーブルを1回転させ、回転軸の水平方向の変位を測定します。 測定値の最大差を偏心と規定します。