薄型アライメントステージ【YRA】
薄型アライメントステージ【YRA】
従来のXY回転ステージに比べて半分の厚さを実現しながら、高分解能のアライメントが可能です。透過穴を確保しています。
自動Zステージ【ZA05A-W1】
自動Zステージ【ZA05A-W1】
小型でロングストロークの、クサビ方式自動Zステージです(テーブルサイズ50角)。送り方式に高分解能の研削ねじを採用。
回転ステージ【RA04A-W】
回転ステージ【RA04A-W】
ウォーム&ウォームホイールを利用した小型軽量(テーブルサイズΦ40mm)の回転ステージです。狭所でのご利用に最適。
自動Zステージ【ZA04A-W1】
自動Zステージ【ZA04A-W1】
小型で高分解能の、クサビ式自動Zステージです。狭所や軽量なステージが必要な場合に最適です。
自動Zステージ【ZA05A-W2C】
自動Zステージ【ZA05A-W2C】
小型でスリムサイズの、クサビ式自動Zステージです(テーブルサイズ50角)。狭所でのご利用に最適です。
自動Zステージ【ZA10A-32F】
自動Zステージ【ZA10A-32F】
四面フラットローラガイドを利用したウォーム式自動Zステージです。高耐荷重とロングストロークを同時に実現しました。
自動Zステージ【ZA16A-W2C】
自動Zステージ【ZA16A-W2C】
精密クロスローラガイドを利用した、クサビ式自動Zステージです(160mm角)。高耐荷重と高分解能を同時に実現しました。
手動Zステージ【ZM04A-C1】
手動Zステージ【ZM04A-C1】
精密クロスローラガイドを使用した小型のクサビ方式手動Zステージです(テーブルサイズ40mm角)。狭所でのご利用に最適。
手動Zステージ【ZM05A-C1C】
手動Zステージ【ZM05A-C1C】
精密クロスローラガイドを使用したクサビ方式手動Zステージです(テーブルサイズ50mm角)。狭所でのご利用に最適です。
手動Zステージ【ZM05A-C1S】
手動Zステージ【ZM05A-C1S】
精密クロスローラガイドを使用したクサビ式手動Zステージです(テーブルサイズ50mm角)。高耐荷重とロングストロークを実現。
手動Zステージ【ZM07A-V1F】
手動Zステージ【ZM07A-V1F】
四面フラットローラを使用したベルト式手動Zステージです(テーブルサイズ70mm角)。高耐荷重とロングストロークを実現。
高耐久性スイベルステージ
高耐久性スイベルステージ
送り方式にボールネジを採用した高耐久性のスイベルステージです。同時に軽量化も実現しました。サイズは70mm角です。
高耐久性スイベルステージ
高耐久性スイベルステージ
送り方式にボールネジを採用した高耐久性のスイベルステージです。同時に軽量化も実現しました。サイズは50mm角です。