従来のXY回転ステージに比べて半分の厚さを実現しながら、高分解能のアライメントが可能です。透過穴を確保しています。
小型でロングストロークの、クサビ方式自動Zステージです(テーブルサイズ50角)。送り方式に高分解能の研削ねじを採用。
ウォーム&ウォームホイールを利用した小型軽量(テーブルサイズΦ40mm)の回転ステージです。狭所でのご利用に最適。
小型で高分解能の、クサビ式自動Zステージです。狭所や軽量なステージが必要な場合に最適です。
小型でスリムサイズの、クサビ式自動Zステージです(テーブルサイズ50角)。狭所でのご利用に最適です。
四面フラットローラガイドを利用したウォーム式自動Zステージです。高耐荷重とロングストロークを同時に実現しました。
精密クロスローラガイドを利用した、クサビ式自動Zステージです(160mm角)。高耐荷重と高分解能を同時に実現しました。
精密クロスローラガイドを使用した小型のクサビ方式手動Zステージです(テーブルサイズ40mm角)。狭所でのご利用に最適。
精密クロスローラガイドを使用したクサビ方式手動Zステージです(テーブルサイズ50mm角)。狭所でのご利用に最適です。
精密クロスローラガイドを使用したクサビ式手動Zステージです(テーブルサイズ50mm角)。高耐荷重とロングストロークを実現。
四面フラットローラを使用したベルト式手動Zステージです(テーブルサイズ70mm角)。高耐荷重とロングストロークを実現。
送り方式にボールネジを採用した高耐久性のスイベルステージです。同時に軽量化も実現しました。サイズは70mm角です。
送り方式にボールネジを採用した高耐久性のスイベルステージです。同時に軽量化も実現しました。サイズは50mm角です。