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「真空対応ステージ」は、真空域で耐えうる材料や部材を使用し、なおかつ「モンブランステージ」の特徴である高い位置決め精度・高剛性を維持した汎用位置決めステージです。ステージの本体にはアルミニウム素材、案内部にはステンレス、メネジ、ウォームホイール部にはリン青銅などの金属や、真空対応の絶縁材・潤滑材などを使用しています。これらの材料の選択や製造工程には、これまで弊社が放射光施設、半導体露光、宇宙関連の装置開発で培ってきたノウハウが結集されています。また、検査や包装も十分に管理された環境のもとで行われています。
ここに記載されているステージ以外でもエンコーダの取り付けや、固体潤滑を使った超高真空用のベーキング対応製品などのご要望がございましたら、弊社営業部までお問い合わせください。

テスト用の真空容器にステージを挿入した場合と、ステージなし（バックグラウンド）の場合で、到達圧力の時間変化、残留ガス分析、放出ガス速度の計測結果を示します。

3．放出ガス速度（オリフィス法）
ガス放出量測定の精度、再現性を重視しオリフィス法を採用しています。
サンプルチャンバー P1 と排気系に至るベースチャンバー P2 の間に微細穴を設けた仕切りを取り付けP1、P2に圧力差が生じるようにしています。
一例として、スイベルステージ(MVSA07A-R1)の真空引き開始から24時間経過した時のガス放出速度は下記の式より

Q=C{(P1-P2)-ground}=8.0×10^-6 (Pa・m³/sec)
(ground:サンプルが入っていない時のチャンバーの差圧)

となりました。この値は、カタログ中のステージとほぼ同じ程度です。放出ガス速度は、真空容器や排気システムなどの設計の目安として参考にして下さい。

図３　オリフィス法テストチャンバー概略図

容器の排気について
真空ポンプの選定・取り付けには、真空容器の容積、内部装置からのガス放出量、排気系のコンダクタンスを考慮してください。また包装からステージを取り出した後は、長時間大気に曝すことは避け、早めに真空下に設置してください。

モータの発熱によるベーキング効果
真空内では、大気中と異なり対流による熱伝導はほとんどありません。このため、主にモータから発生した熱により、以下のような現象が起こります。

１．潤滑剤の蒸発による真空容器内の劣化（圧力上昇など）
２．ベアリング部の焼きつき
３．熱膨張による影響（ステージに熱が逃げるため、大気中よりも熱膨張の影響を受けやすくなる）

圧力を低く保つには・・・
１．使用する前に慣らし運転して、ガスを放出しておく。
２．停止時の励磁電流を必要最低限に抑える。

より高精度を追求するには・・・
１．モータの温度を逃がすような工夫を施す。もしくは、モータとステージの間を断熱する。
２．リニアエンコーダや回転エンコーダを組み込み、フィードバック制御する。

ステージによっては、断熱材やエンコーダが取り付けられないものもあります。詳しくは営業部までお問い合わせください。