【精度】 ステージの真直性能・剛性・振動特性など、センサーの精度にマッチしたステージ性能

【剛性】 グラナイト製定盤の使用により剛性、制振性さらに経年変化を抑えた設計

【利便性】 データ収集・解析・３Ｄ表示といった一連の測定作業が出来る基本ソフトウェアに加え、測定エリアをビジュアル的に指定・複数の測定条件をスケジューリング・データの分割結合を行う補助的なものまでラインナップ。
測定したい時に簡単に測れて、すぐに確認できることが最大のコンセプト。
センサーの分解能を変えずにワイドレンジでの測定を可能にしたサーボ機能にも対応可能です。