ホーム > 製品情報 > 位置決めステージ > Zステージ
ZA16A-W2C
|
 |
| ●精密クロスローラガイドを利用した、クサビ式自動Ｚステージです。 ●高耐荷重と高分解能を同時に実現しました。 ●5相ステッピングモータ使用。 ●SCシリーズコントローラのご使用をお勧め致します。 |
| 仕様 | |
|---|---|
| 勝手違い | ZA16A-W2C-R |
| テーブル面 | 160mm×160mm |
| 案内方式 | 精密クロスローラガイド |
| 移動範囲 | ±8mm |
| 水平耐荷重 | 196N (20kgf) |
| 材質 | アルミ合金 |
| 外観 | 白色仕上げ |
| 自重 | 7.2kg |
| 送り方式 | 1/4-クサビ. ボールネジ、 リード1.0mm |
| 最小分解能 | 0.25μm (half) |
| 最高速度 | 2.5mm/sec |
| 繰返し位置決め精度 | ≦±0.5μm |
| ロストモーション | ≦0.5μm |
| 使用モータ | 5相ステッピングモータ （オリエンタルモータ: PK545-B) 定格電流 0.75A/相、基本ステップ角 0.72° |
| コネクタ型式 | 角形20ピン (ヒロセ: PC-1620、 P-1620A-STA) |
| 垂直度 | ≦4μm/16mm |
| ※ 真空対応につきましては低、中、高の真空レベルがありますので、営業部へお問い合わせください。 | |
|
|
|||||||||||||||
| 改造例 | |
|---|---|
| 種別 | 内容 |
© 2005 Kohzu Precision Co.,Ltd.All rights reserved