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薄型アライメントステージ [YRA-070、YRA-130]
【3軸一体構造により、薄型】
従来のＸＹ回転3軸重ね構造に比べ、半分の薄さを実現しました。
【耐久性】
全ての軸にボールネジを採用し、長寿命化を実現しました。
【高分解能】
タンジェントバー方式により、高分解能アライメントが可能です。
【透過型】
透過穴 （YRA-070: φ10mm YRA-130: φ35mm）を、フルストロークで確保しています。
各種サンプルに光を透過させながらの、高精度位置決めが可能です。
【用途】
・液晶、有機ＥＬ等の小型基板のアライメント、評価、接合
・ スクリーン印刷機
・ 基板のマークアライメント
・ 各種検査装置に最適です。
| 型式 | YRA-070 | YRA-130 |
| テーブル面 | □70 | □130 |
| 案内方式XY、θ | クロスローラガイド、クロスローラベアリング | |
| 移動範囲XY、θ | ±3mm、±3° | ±5mm、±5° |
| 送り方式（3軸共通） | ボールネジ | |
| 最小分解能XY | 0.001mm／step(Half時) | |
| 最小分解能θ | 0.00127deg／step(Half時) | 0.000674deg／step(Half時) |
| 最高速度XY | 10mm／sec(10kpps／Half時) | |
| 最高速度θ | 12.7°／sec(10kpps／Half時) | 6.765°／sec(10kpps／Half時) |
| 水平耐荷重 | 5kg | 20kg |
| 材質 | アルミ合金 | |
| 外観 | 白色仕上げ | |
| 自重 | 約1.3kg | 約4kg |
| 使用モータ（3軸共通） | PK513PB(0.35A／相： オリエンタルモータ） | |
| コネクタ型式（3軸共通） | RP13A-12JG-20PC(ヒロセ) | |
| 価格 | \450,000 | \700,000 |
【概略図： YRA-070】
【概略図： YRA-130】
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